교수진
차세대 반도체소자 융합연구실
박진섭 교수
02-2220-2318
담당과목

고체전자물리, 반도체 소자, 현대물리, 집적회로 소자

화합물반도체, 반도체공정, 박막공학

학력
Tohoku University 공학박사
경력
2022.03 ~ 현재 한양대학교 융합전자공학부 교수
2011.3 ~2021.02 한양대학교 융합전자공학부 부교수
2010.4 ~ 2011.2 서울대학교 융합기술원 연구교수
2009.4 ~ 2010.3 (미) UC 버클리 박사 후 연구원
2002.1 ~ 2008.1 삼성전기 광소자 선임연구원

 

차세대 반도체소자 융합연구실

 

 

다양한 화합물 나노반도체를 기반으로 차세대 메모리,  전력소자(SBD, HEMT), 에너지 하베스팅 소자 및

하이브리드 플렉시블 전자소자(센서 및 환경) 개발 및 응용 연구를 진행하고 있다.

 

1. 차세대 메모리 소자 및 열방출 설계

 

 페로브스카이트 및 산화물을 기반으로 저항변화 스위치 소자를 개발하고 있으며,  이를 바탕으로 멤리스터등 인공지능반도체 접목에 관한 연구 진행하고 있음.

 아울러 고집적화된 메모리소자의 최적 열방출 구조를 설계하고 COMSOL등을 이용한 해석 진행.

 

2. 와이드밴드갭 파워소자

질화물 및 SiC 박막을 이용한 SBD HEMT소자를 제작하고,  누설전류를 줄이기위한 다양한 공정기술을 개발하고 있음.

 

 

3.  나노반도체 기반의 Energy Harvesting

화합물 반도체 산화물기반  나노구조체를 활용한 나노제너레이터 압전소자  효율 향상 기술 개발.

바이오, 센서등에 응용하기 위해 모색.


4. Self-powered  Sensor

 페로브스카이트 재료를 활용한 자발전력 광검출기등  센서 소자 제작 및 유연 전자소자  적용 기술 개발.



4. ESG/나노재료 트랜스터 응용

 

나노재료 합성 및 환경분야 광촉매, 오염물질 제거에 대한연구를 진행하고 있으며, 나노구조체의 전사 방법을 개발하여 다양한 광전자소자에 응용진행.


  

관심연구분야

 

 

인공지능반도체, 파워소자, 에너지 하베스팅, 전자소자, 유연센서소자, 전사기술

 

 


 

 

 

 

 

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