전임교수
첨단반도체소재 / 소자개발 연구실
박재근 HYU석학교수
02-2220-0234
담당과목

고체전자물리개론, 반도체공학, 반도체회로공정, 전자통신공학종합설계

나노반도체공정, 나노반도체세미나

학력
North Carolina State University 재료공학과 박사
경력
2011.7 ~ 현재 국가지식재산위원회 위원 및 지식재산 창출
전문위원회 위원장
2011.5 ~ 현재 한양대학교 석학교수
2010.11 ~ 현재 한국과학기술한림원 정회원
2008.8 ~ 2011.7 한양대학교 산학협력단 단장 학술연구처 연구처장,
한양종합기술연구원 연구원장
2008.4 ~ 2010.4 교육과학기술부 국가과학기술위원회 운영위원회 위원
및 지식재산 전문위원 위원장
2008.3 ~ 현재 한양대학교 일반대학원 나노반도체공학과 학과장
2008.1 ~ 현재 한국공학한림원 일반회원
2004.7 ~ 현재 지식경제부 차세대 메모리 개발 사업단 단장
2003.4 ~ 현재 SiWEDS 센터 아시아 대표
1999.3 ~ 현재 한양대학교 융합전자공학부 교수

 

첨단반도체소재 / 소자개발 연구실


연구 분야는 크게 수직자화형 STT-MRAM, CBRAM, 플렉서블 유기메모리,
Relaxed SiGe-on-Insulator (GOI-like) n-MOSFET, 나노 CMP 슬러리,
유기이미지센서, 플렉서블 유기 태양전지, 나노 실리콘 태양전지, 차세대
사파이어로 나눌 수 있다.

 

1. Flexible 메모리 분야
모바일형 플렉서블 유기 메모리 및 3차원 크로스바 구조 유기 저항
메모리, 저분자 자가정류 저항 메모리를 개발하고 있다.

 

 

2. 비휘발성 차세대 메모리 소자 분야
테라비트급 차세대 비휘발성 메모리 소자인 perpendicular spin-torquetransfer
MRAM 및 conductive bridge RAM을 개발하고 있다.

3. Relaxed SiGe-on-Insulator (GOI-like) n-MOSFET 분야
Ge 농도에 따른 SGOI n-MOSFET의 이동도 향상을 연구하며 고성능
반도체용 SiGe 기반 n-MOSFET 및 GeO₂ 사용 가능한 SGOI 기반
n-MOSFET 에너지 밴드를 설계한다.

4. 나노 연마 입자 CMP 슬러리 분야
상변화 메모리 연마용 CMP 슬러리 및 자화 반전 메모리의 금속 배선(Ru,
Ta) 연마용 CMP 슬러리, 텅스텐 및 구리 배선용 CMP 슬러리, 실리콘 및
실리콘 카바이드 연마용 CMP 슬러리를 연구한다.

5. 유기 CMOS 이미지 센서 분야
Green Sensitive 유기 포토다이오드를 사용한 고해상도 이미지센서
소자 및 Green Sensitive 유기 박막을 연구하며, 유기 포토다이오드와
4-트랜지스터 구동 방법을 설계한다.

6. 플렉서블 유기 태양전지 분야
고효율 광대역 Flexible 유기태양전지 및 유·무기 하이브리드 유기태양전지,
표면 플라즈몬 효과를 이용한 유기태양전지 특성 분석 및 개발을 한다.

7. 나노 실리콘 태양전지 분야
금속 불순물 오염에 따른 웨이퍼 및 소자 특성 확인, 나노와이어, 나노콘
및 초고효율 태양전지 개발에 대한 연구를 진행한다.

 

 

 

 

관심연구분야

 

 

수직자화형 STT-MRAM, CBRAM, 플렉서블 유기메모리, Relaxed SiGeon-
Insulator (GOI-like) n-MOSFET,
나노 CMP 슬러리, 유기이미지센서,
플렉서블 유기 태양전지, 나노 실리콘 태양전지,
차세대 사파이어

 

 

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